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  • 500W射频PECVD模块

    KT-PE500Z是借助于辉光放电等方法产生等离子体,辉光放电等离子体中:电子密度高109-1012cm3电子气体温度比普通气体分

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  • 小型蒸镀仪控温型

    真空腔体为直径φ150mm石英腔体配合304不锈钢真空法兰,易清洁和放入样品,顶部有效直径φ50mm样品台,并且设有挡板,

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  • PECVD等离子增强型气象化学沉积系统

    PECVD系统就是为了使传统的化学气象沉积(CVD)反应温度降低,在普通CVD装置的前端加入RF射频感应装置将反应气体电离

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  • pecvd系统模块

    KT-PECVD系统模块针对低功率、载行应用,HERO 系列射频电源小巧、轻便,拥有空冷式设计。射频电源与手动匹配器集成为

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