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小型蒸镀仪控温型

小型蒸镀仪控温型

型号:KT-DML50ZF


真空腔体为直径φ150mm石英腔体配合304不锈钢真空法兰,易清洁和放入样品, 顶部有效直径φ50mm样品台,并且设有挡板,有效提高镀膜质量。 采用钨丝篮+氮化硼坩埚作为发热源,减少由钨丝直接加热样品带来的污染,加热源周围装有陶瓷纤维保温材料从而减少加热功率也使蒸发源温度更均匀,加热源最高温度可达到1650℃(由于传感器限制 加热温度限制在1700℃以下)。 精确控温:可设置30段升降温程序,设置烘烤温度 加热时间 蒸发温度。

主要特点:

真空腔体为直径φ150mm石英腔体配合304不锈钢真空法兰,易清洁和放入样品,
顶部有效直径φ50mm样品台,并且设有挡板,有效提高镀膜质量。
采用钨丝篮+氮化硼坩埚作为发热源,减少由钨丝直接加热样品带来的污染,加热源周围装有陶瓷纤维保温材料从而减少加热功率也使蒸发源温度更均匀,加热源最高温度可达到1650℃(由于传感器限制 加热温度限制在1700℃以下)。
精确控温:可设置30段升降温程序,设置烘烤温度  加热时间 蒸发温度。

技术参数:

产品名称

程序控温型小型蒸镀仪

产品型号   

KT-DML50ZF

控制模式

操作模式;手动操作     控温模式;仪表程序控温

极限温度

1700℃

加热材料

高纯钨丝+氮化硼坩埚

测温元件   

B型热电偶

升温速率

≥300℃/min

蒸发源-样品距离

40mm-80mm可调范围(其他可调距离请提前告知)

样品载台

φ50

挡板

密封方式

不锈钢真空法+高纯石英

气 密 性

分子泵抽真空4.0E-6 Torr

抽气接口

KF25法兰

进气接口

φ6mm卡套接头

供电电源

220V  50Hz

整机功率

1.2KW

标准配件

加热钨丝2个 加热坩埚1个 密封圈2根 电源线1根 说明书一本

整机重量

26kg

外形尺寸

380×360×420 mm

可选功能及配件

样品台旋转功能(转速为:5rpm)

数显真空计测量范围:1×10-5~1×105Pa

涡轮分子泵组 泵口真空度1x10-6 Pa


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