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500W射频PECVD模块

500W射频PECVD模块

型号:KT-PE500Z


KT-PE500Z是借助于辉光放电等方法产生等离子体,辉光放电等离子体中:电子密度高109-1012cm3电子气体温度比普通气体分子温度高出10-100倍,使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应,从而实现薄膜材料生长的一种新的制备技术。通过反应气态放电,有效地利用了非平衡等离子体的反应特征,从根本上改变了反应体系的能量供给方式低温热等离子体化学气相沉积法具有气相法的所有优点,工艺流程简单,与传统CVD系统比较,生长温度更低,管辉光均匀等效,薄膜均匀沉积。

KT-PE500Z是借助于辉光放电等方法产生等离子体,辉光放电等离子体中:电子密度高109-1012cm3电子气体温度比普通气体分子温度高出10-100倍,使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应,从而实现薄膜材料生长的一种新的制备技术。通过反应气态放电,有效地利用了非平衡等离子体的反应特征,从根本上改变了反应体系的能量供给方式低温热等离子体化学气相沉积法具有气相法的所有优点,工艺流程简单,与传统CVD系统比较,生长温度更低,管辉光均匀等效,薄膜均匀沉积。

 
 

信号频率 13.56MHz±0.005%
功率输出范围 0-500W
功率稳定度 ≤5W
谐波分量 ≤-50 dBc
供电电源 单相50/60Hz 220v±10%
整机效率 ≥70% 
耦合方式 电感式耦合
支持炉管直径 φ25-φ150
整机重量 68Kg
整机尺寸 600x600x1100mm

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