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真空探针台

真空探针台

型号:KT-Z140TZ


探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。 该探针台的承片台X/Y/Z三个方向均可在真空环境下调节,其中X方向调节范围:0-30mm;y方向调节范围:0-13mm;z方向调节范围:0-13mm;用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上,再微调探针支架X/Y/Z 方向行程,通过显微镜观察,使探针对准检测点后,即可进行检测。

探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
该探针台的承片台X/Y/Z三个方向均可在真空环境下调节,其中X方向调节范围:0-30mm;y方向调节范围:0-13mm;z方向调节范围:0-13mm;用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上,再微调探针支架X/Y/Z 方向行程,通过显微镜观察,使探针对准检测点后,即可进行检测。

实验腔体

腔体材质

304不锈钢

上盖开启

铰链侧开

内腔体尺寸

φ140x180

加热台材质

304不锈钢

观察窗尺寸

φ75

加热台尺寸

50x50

加热台温度

室温-350℃可调

加热台温控误差

±1℃

真空度

机械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

真空抽气口

KF25

气体进气口

3mm-6mm卡套接头

进气阀门

高精密针阀

抽气阀门

KF25真空挡板阀

压力表

机械压力表 -0.1-0.15mpa

信号电极

4个

探针数量

4个

探针材质

φ1.5钨针   其他材质可选

探针移动平台

X轴移动行程

30mm    ±15mm

X轴控制精度

≤0.1MM 

Y轴移动行程

13MM    ±6.5mm

Y轴控制精度

≤0.05MM 

Z轴移动行程

13mm   ±6.5mm

Z轴控制精度

≤0.05MM 

信号电极

电极芯

1芯

电极引出接头

BNC母头

电极引出线

铜网信号屏蔽线

BNC引出接头

X4

额定电流

≤5A

额定电压

≤220V

电极芯直径

φ1mm

接触电阻

≤5MΩ

绝缘电阻

≥1000 MΩ

外壳接地

电子显微镜

电子显微镜根据客户需要配置不同倍率 请和客服沟通

 

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